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半导体行业离子风机需求调查表
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*
1.
客户名称
*
2.
所属领域
晶圆厂
封测厂
设备厂商
新进入企业
其他
*
3.
企业规模
大型（>5000人）
中型（500-5000人）
小型（<500人）
*
4.
主要工艺/产品
*
5.
洁净室等级
Class 100
Class 1000
Class 10000
Class 100000
其他
三、离子风机需求调查
*
6.
机台内部集成尺寸限制
单位：mm（长×宽×高）
*
7.
重量要求
<2kg
<5kg
<8kg
无特殊要求
*
8.
重量具体要求说明
*
9.
颜色要求
白色
不锈钢本色
黑色
其他
*
10.
安装方式
吊装
侧装
桌面放置
机台内部嵌入
其他
3.2 静电管控要求
*
11.
除静电速度（60CM处，从1000V降至100V所需时间）
＜2秒
＜3秒
＜5秒
<10秒
其他
*
12.
离子平衡度（30CM处）
±3V以内
±5V以内
±10V以内
±20V以内
其他要求
*
13.
覆盖范围
点对点（<30cm）
单工位覆盖（30-60cm）
多工位覆盖（60-120cm）
其他
*
14.
特殊工艺要求
【多选题】
光刻区（黄光区）专用
刻蚀区（腐蚀性气体环境）
键合区（超高精度）
其他
3.3 维护时间及方式
*
15.
放电针/发射极更换周期
6个月
12个月
18个月
24个月
*
16.
清洁维护周期
每周
每月
每季度
每半年
每年
*
17.
单次维护停机时间（设备内部）
<15分钟
<30分钟
<1小时
可接受更长
3.4 洁净等级要求
*
18.
适用洁净室等级
Class 100
Class 1000
Class 10,000
非洁净室环境
其他环境
*
19.
外壳材料兼容性
【多选题】
316L不锈钢
铝合金喷漆
PTFE涂层
工程塑料
其他
3.5 离子风机工作环境
*
20.
温度范围
15-25℃
10-30℃
0-40℃
其他
*
21.
湿度范围
40-60%RH
30-70%RH
20-80%RH
其他
*
22.
是否存在腐蚀性气体环境
是
否
不确定
3.6 其他要求
*
23.
通信接口
【多选题】
RS485
以太网（RJ45）
无需通信协议
无线通信
*
24.
在线监测功能
必须（离子平衡、高压、风扇状态）
建议配置
无需监测
*
25.
报警功能
【多选题】
声光报警
系统联动（接入FMCS）
短信/邮件报警
无需报警
*
26.
认证要求
【多选题】
SEMI
CE
UL
RoHS
防爆认证
其他
四、现有离子风机品牌及使用评价
*
27.
现有离子风机品牌及使用情况
品牌名称
品牌名称
型号
型号
使用数量（台）
使用数量（台）
使用场景/区域
使用场景/区域
优点
优点
缺点/待改进之处
缺点/待改进之处
*
28.
对现有品牌最不满意的地方
*
29.
最希望新品牌/新产品具备的功能或特性
*
30.
采购决策时最看重的因素
【请选择
全部
项并排序】
价格
性能
服务
品牌
交期
*
31.
是否愿意尝试国产替代品牌
非常愿意
愿意
视产品验证结果
不愿意
暂不考虑
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