V64ME-AE F 区维修记录

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1.
维修日期：
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2.
班次
D
N
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3.
楼层
F02-2F
F07-2F
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6.
设备名称
FBI 中间移栽机
BCW 中间移栽机
DP1-1
DP2-1
DP 中间移载机
DP1-2
DP2-2
DP 出料移栽机
VIM 投入移栽机
VIM 投入 buffer
VIM 中间移栽机
VIM 中间 buffer
BIM 投入移栽机
BIM-1
BIM 中间移栽机
BIM-2
BIM-AMI 移载机
AMI 中间移栽机
MCI 投入移载机
MCI-1
MCI 中间移栽机
MCI-2
MCI-SMA2 移载机
SMA2-1
SMA3-1
SMA2 中间移栽机
SMA2-2
SMA3-2
SMA3-SMA1 中间移栽机
SMA1-1
SMA1 中间移载机
SMA1-2
PSIM 投入移载机
PSIM1-1
PSIM2-1
PSIM 中间移栽机
PSIM1-2
PSIM2-2
PSIM 后面移载机
PSIM1-3
PSIM2-3
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7.
维修人员
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8.
维修开始时间
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9.
维修结束时间
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10.
现象类型
设备异常
CCD 异常
载具异常
流水线异常
机械手异常
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11.
现象
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12.
原因类型
IO 信号
参数
程序
电路
耗材
机构
气路
加工件
来料
镭射
其它
市购件
软件
CCD
载具
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13.
原因
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14.
解决措施
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15.
是否更换零件
是
否
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