扫描电镜用户需求调研

针对扫描电镜不同的性能，从您的实际使用需求出发，根据您认为性能的重要程度进行打分，满分5分，性能要求越高越高

*

1.

您单位的性质

半导体公司

第三方实验室

高校或研究院所

非半导体公司

*

2.

低压表面成像能力：分辨率，信噪比

1

5

1
2
3
4
5

*

3.

低压背散射成像能力：分辨率，信噪比，成分衬度

1

5

1
2
3
4
5

*

4.

能谱EDS 、EBSD的分析能力

非常不重要

非常重要

1
2
3
4
5

*

5.

设备稳定性

1

5

1
2
3
4
5

*

6.

易用性：集成性高，自动校准，交互友好，学习成本低

1

5

1
2
3
4
5

*

7.

成像效率：从换样到出图的效率

1

5

1
2
3
4
5

*

8.

综合使用成本

1

5

1
2
3
4
5

*

9.

设备抗环境干扰

1

5

1
2
3
4
5

*

10.

机台交付时间

1

5

1
2
3
4
5

*

11.

外观

非常不重要

非常重要

1
2
3
4
5

*

12.

若您有其它需求请描绘补充并打分

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13.

您的岗位【多选题】

实验室管理员

设备管理员

设备使用人员

其他

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