微电子工厂废水处理及回用技术需求调研问卷
问卷说明
调研说明:本问卷用于了解微电子工厂在废水处理、过氧化氢去除及回用水系统方面的现状、挑战与技术需求。问卷信息仅用于行业研究和技术交流，并将予以妥善保管。
填写说明:除特别注明外，请选择最符合实际情况的选项;“可多选”题可选择多个答案。
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微电子工厂废水处理及回用技术需求调研问卷
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一、企业基本信息
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1. 企业名称（选填）
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2. 企业类型
晶圆制造（Fab）
封装测试（OSAT）
半导体材料
显示面板
其他:
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3. 工厂所在地（城市）
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4. 日均废水处理规模
二、微电子废水处理现状与需求 核心调研部分
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5. 贵厂重点处理的废水类型有哪些?（可多选）
【多选题】
含氟废水
CMP废水
高COD有机废水
酸碱废水
其他:
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6. 当前废水处理面临的主要挑战是什么?（可多选）
【多选题】
达标压力大
运行成本高
能耗较高
污泥产生量大
其他:
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7. 在水资源利用方面，目前最突出的痛点是什么?
回用率难以提升
用水成本较高
新鲜水资源受限
系统运行成本高
其他:
*
*
8. 如引入新的废水处理技术，贵厂最关注哪些方面?（）
【多选题】
降低运行成本
提高处理效率
提高系统稳定性
提高回用率
降低投资成本
其他:
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9. 贵厂当前重点关注的水处理新技术有哪些?（可多选）
【多选题】
高级氧化技术（AOPs）
MABR技术
资源回收技术
低碳节能技术
其他:
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三、过氧化氢（H₂O₂）处理现状
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10. 贵厂是否存在含过氧化氢废水处理需求?
是
否
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11. 贵厂去除过氧化氢的主要原因是什么?（可多选）
【多选题】
保护生化系统
保护膜系统（RO/NF）
满足回用要求
满足排放要求
其他:
*
*
12. 目前采用的过氧化氢去除方案是什么?
化学还原法
催化分解法
过氧化氢酶法
组合处理工艺
其他:
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13. 当前处理方案面临的主要问题是什么?（可多选）
【多选题】
运行成本高
处理效果不稳定
药剂消耗量大
运行维护复杂
其他:
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14. 您对过氧化氢酶产品的了解或使用情况如何?
已使用
已测试
了解但未使用
不了解
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14-1. 如有使用经验，请简要说明其主要优势或不足
四、回用水系统建设与规划
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15. 贵厂目前已建设的回用水系统主要类型是什么?（可多选）
【多选题】
中水回用
RO浓水回用
废水回收
零排放系统（ZLD）
其他:
*
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16. 当前回用水系统面临的主要挑战是什么?（可多选）
【多选题】
回收率偏低
膜污染问题
运行成本较高
水质稳定性不足
其他:
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17. 未来3年是否有新增或扩建回用水系统的规划?
已有明确规划
正在评估
暂无计划
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18. 推进回用水项目的主要制约因素是什么?
投资预算
技术可靠性
投资回报周期
场地限制
其他:
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五、意见与建议
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19. 您认为未来最值得关注的水处理技术或需求是什么?
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