上海芯源公司成立于2021年,是沈阳芯源微电子设备股份有限公司的全资子公司。上海子公司定位是芯源的研发高地,厂区占地45亩、建筑面积5.4万平方米,拥有超6400平高等级洁净厂房,配备总值超亿元的世界一流水平检验测试设备,配置可容纳800人的研发办公厂区,国际一流水平的研发实验室,主要开展28nm及以下高端工艺技术节点的集成电路光刻工艺涂胶显影设备、化学清洗设备及其核心零部件研发及产业化,打造更高技术节点半导体设备,更好服务前道用户。
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