20A 1.21

1.1-30题为Sus作业内容。2.31题开始为Lid作业内容。3.每日发出当日问卷后，最晚填写时间为第二天的下午2点前。
1. 您的姓名：
2. 今天工作的机台编号
3. Sus Epic bar安装
4.  Sus Normal grouding安装至Epic bar
5. 定位销安装
6.
Roller Bush（陶瓷管）安装
7. Rest Button(Sus上陶瓷块)
8. 清洁腔内
9. Body O-ring安装(按压O-ring)
10. Shim块垫片摆放
11. Shim块摆放及位置确认
12. Sus吊装(你站的位置)
13. Normalgrouding锁至腔壁
14. CFC安装
15. CFC Cover安装(小盖板)
16. S/F清洁
17. 水盘安装
18. Sus电源线及信号线接线
19. Bush pin安装
20. S/F Flatenss测量
21. S/F Gap测量
22. spacing间距调整
23. EE 调整
24.
Slow Move确认(Bush pin高度确
认)
25. .Sus表面清洁(滚轮清洁)
26. Lid接水电
27. 开水、开电、开气、Gauge安装
28. 复机He测
29. 视窗安装
30. 其他作业
从这里开始为DF相关作业内容，是为参与，否为未参与。
31. BP表面擦拭清洁
32. 导流罩检查安装（单孔导流罩需要更换）
33. DF CSD、MSD蘑菇头、四角陶瓷安装
34. 裙边螺丝安装
35. 陶瓷板、陶瓷帽螺纹检查（是否破损缺少）
36. 陶瓷板、CSD、MSD打磨清洁
37. 陶瓷板、特氟龙、陶瓷帽安装
38. CSD、MSD拉杆安装
39. DF Flatness测量
40. CSD、MSD安装
41. DF GAP调整
42. Lid MSD Cover 
43. Lid MSD Cove
44. 复机He测值
45. Lid 复机电阻值
46. ZFFT O-ring更换
47. 其他作业
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