AFM培训统计表 2026

本培训仅针对清华大学微纳加工中心用户开放

1. 您的姓名：

2. 联系方式（邮箱或电话，尽量留方便接收信息的联系方式）：

3. 学校学院:

4. 是否在清华大学仪器共享平台有可使用账户？

有（请确认“清华大学仪器共享平台”有账户，且已绑定主用户，且已划拨费用）无（校内用户请联系导师设置为从用户，并授予经费。校外用户请联系窦维治老师（010-62781090,13366273985,douwz@tsinghua.edu.cn）完成用户账号建立））

5. 是否通过微纳加工中心实验室安全培训？

是，并且已经取得门禁权限是，未取得门禁权限，请联系相关老师尽快解决否，请联系杨信培老师（13426433670 xpyang@mail.tsinghua.edu.cn）进行安全培训及实验室准入

6. 请注意AFM测试高度上限为10微米，一般测试1微米以下样品；XY测试范围上限为90微米，一般测试50微米以下。超过此测试范围请使用台阶仪或共聚焦显微镜，联系苏鑫老师（sux@mail.tsinghua.edu.cn）。

我知道了不合适

7. 预计使用时间

现在或1周后有样品2周后1个月后2个月后或未知

8. 测试频率或预计测试频率

每周都有样品需要测试每月约1-2次低于每月1-2次

9. 在其他实验室是否操作过相同型号（Bruker Icon）AFM

无操作过，但只用过几次，操作流程不甚清楚操作过，流程基本清楚操作过，非常熟练

10. AFM：样品类型

微纳加工样品二维材料样品粉体样品（包括金属、无机粉体类及生物样品）其他块体样品

11. 样品描述，请尽量详细（包括目标位置三维尺寸）

12. AFM：样品整体尺寸或衬底尺寸，包括XYZ三个方向。

13. AFM：测试需求

形貌表征cAFM 导电原子力，SCM 扫描电容显微镜，SSRM 扫描扩散电阻显微镜PFM 压电力显微镜KPFM 开尔文力探针显微镜Force Curve/Force Volume 力曲线/力谱测量磁力显微镜 MFM静电力显微镜 EFM

14. AFM：cAFM、SSRM、SCM，请尽量详细描述样品

15. AFM：PFM，待测样品是否具有下电极，并可以通过银浆等引出与样品台导通，或者待测样品衬底垂直导电（至少为高掺杂硅），中间无绝缘层。

是否（请制备下电极或更换衬底）

16. AFM：KPFM，待测样品是否具有下电极，并可以通过银浆等引出与样品台导通，或者待测样品衬底垂直导电（至少为高掺杂硅），中间无绝缘层。

是，测试结果为功函数否，测试结果为静电场，且静电受多种因素影响，存在不稳定性。

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