扫描电镜用户需求调研

针对扫描电镜不同的性能，从您的实际使用需求出发，根据您认为性能的重要程度进行打分，满分5分，性能要求越高越高

1. 您单位的性质

半导体公司第三方实验室高校或研究院所非半导体公司

2. 低压表面成像能力：分辨率，信噪比

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3. 低压背散射成像能力：分辨率，信噪比，成分衬度

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4. 能谱EDS 、EBSD的分析能力

非常不重要

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非常重要

5. 设备稳定性

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6. 易用性：集成性高，自动校准，交互友好，学习成本低

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7. 成像效率：从换样到出图的效率

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8. 综合使用成本

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9. 设备抗环境干扰

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10. 机台交付时间

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11. 外观

非常不重要

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非常重要

12. 若您有其它需求请描绘补充并打分

13. 您的岗位

实验室管理员设备管理员设备使用人员其他

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