EPMA原理与应用
您的姓名：
工号：
EPMA 的全称是
A. Electron Probe MicroAnalyzer
B. Energy Dispersive X-ray Spectrometer
C. Scanning Electron Microscope
D. Wavelength Dispersive Spectrometer
EPMA 进行成分分析主要利用的信号是
A. 二次电子
B. 背散射电子
C. 特征 X 射线
D. 俄歇电子
下列哪种信号是 EPMA 定性、定量分析的核心依据
A. 连续 X 射线
B. 特征 X 射线
C. 吸收电子
D. 透射电子
WDS（波谱仪）与 EDS（能谱仪）相比，EPMA 中 WDS 的突出优势是
A. 分析速度快
B. 能量分辨率高、轻元素检测准
C. 可同时测所有元素
D. 设备更简单便宜
EPMA 主要用于材料的
A. 晶体结构分析
B. 微区化学成分定性与定量分析
C. 形貌观察
D. 晶粒尺寸统计
电子探针分析中，定量分析常用的校正方法主要针对
A. 原子序数效应、吸收效应、荧光效应
B. 荷电效应
C. 边缘效应
D. 形貌效应
EPMA 只能做表面微区分析，不能分析样品内部成分
对
错
电子探针可以直接分析 H、He 等最轻元素
对
错
EPMA 定量分析精度通常高于普通 SEM-EDS
对
错
电子探针分析要求样品具有导电性，非导电样品通常需要喷碳或喷金
对
错
关闭
更多问卷
复制此问卷