镀膜真空检漏培训 试题
一、单选题（5 题）
基本信息：
姓名：
部门：
员工编号:
1.镀膜设备静态升压试验，腔体抽到高真空后需要（）
A. 保持真空泵运行
B. 关闭所有阀门、隔离真空泵
C. 通入氩气
D. 开启靶电源
2.氦质谱检漏标准工作气体为（）
A. 氩气
B. 氦气
C. 氧气
D. 氮气
3.真空观察窗漏气主要原因大多是（）
A. 玻璃受热膨胀炸裂
B. 密封橡胶老化、安装压片松动
C. 腔体内气压过高
D. 工艺气体腐蚀靶材
4.遇到水冷管路渗水进腔体属于（）
A. 外漏
B. 内漏
C. 工艺气体泄漏
D. 泵体漏气
5.O 型密封圈安装时混入粉尘碎屑，会造成（）
A. 泵油变质
B. 密封面慢性微漏
C. 靶面结瘤
D. 腔体升温过快
1.肥皂水检漏可以精准检测微米级微小漏孔。（）
对
错
2.喷氦检漏遵循从上至下喷洒，利用氦气上浮特性。（）
对
错
3.升压测试过程中需要持续开启分子泵抽气。（）
对
错
4.穿墙靶座密封老化漏气属于外漏故障。（）
对
错
5.环境空气中含微量氦气，不会对氦质谱检漏基线造成干扰。（）
对
错
关闭
更多问卷
复制此问卷