半导体行业离子风机需求调查表

添加问卷说明

1. 客户名称

2. 所属领域

晶圆厂封测厂设备厂商新进入企业其他

3. 企业规模

大型（>5000人）中型（500-5000人）小型（<500人）

4. 主要工艺/产品

5. 洁净室等级

Class 100Class 1000Class 10000Class 100000其他

三、离子风机需求调查

6. 机台内部集成尺寸限制

7. 重量要求

<2kg<5kg<8kg无特殊要求

8. 重量具体要求说明

9. 颜色要求

白色不锈钢本色黑色其他

10. 安装方式

吊装侧装桌面放置机台内部嵌入其他

3.2 静电管控要求

11. 除静电速度（60CM处，从1000V降至100V所需时间）

＜2秒＜3秒＜5秒<10秒其他

12. 离子平衡度（30CM处）

±3V以内±5V以内±10V以内±20V以内其他要求

13. 覆盖范围

点对点（<30cm）单工位覆盖（30-60cm）多工位覆盖（60-120cm）其他

14. 特殊工艺要求

光刻区（黄光区）专用刻蚀区（腐蚀性气体环境）键合区（超高精度）其他

3.3 维护时间及方式

15. 放电针/发射极更换周期

6个月12个月18个月24个月

16. 清洁维护周期

每周每月每季度每半年每年

17. 单次维护停机时间（设备内部）

<15分钟<30分钟<1小时可接受更长

3.4 洁净等级要求

18. 适用洁净室等级

Class 100Class 1000Class 10,000非洁净室环境其他环境

19. 外壳材料兼容性

316L不锈钢铝合金喷漆PTFE涂层工程塑料其他

3.5 离子风机工作环境

20. 温度范围

15-25℃10-30℃0-40℃其他

21. 湿度范围

40-60%RH30-70%RH20-80%RH其他

22. 是否存在腐蚀性气体环境

是否不确定

3.6 其他要求

23. 通信接口

RS485以太网（RJ45）无需通信协议无线通信

24. 在线监测功能

必须（离子平衡、高压、风扇状态）建议配置无需监测

25. 报警功能

声光报警系统联动（接入FMCS）短信/邮件报警无需报警

26. 认证要求

SEMICEULRoHS防爆认证其他

四、现有离子风机品牌及使用评价

27. 现有离子风机品牌及使用情况

品牌名称
型号
使用数量（台）
使用场景/区域
优点
缺点/待改进之处

28. 对现有品牌最不满意的地方

29. 最希望新品牌/新产品具备的功能或特性

30. 采购决策时最看重的因素

价格性能服务品牌交期

31. 是否愿意尝试国产替代品牌

非常愿意愿意视产品验证结果不愿意暂不考虑

更多问卷复制此问卷