stepper曝光机课后检测试题
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1. 厂内stepper光刻机曝光波长是多少？
A、365nm
B、400nm
C、280nm
D、1080nm
2. 厂内stepper曝光机是哪种类型的？
A、接近式
B、步进式
C、直写式
D、浸润式
3. Stepper最大视场范围是？
A、10*10mm
B、20*20mm
C、22*22mm
D、25*25mm
4. Stepper对位有哪些方式？
A、Search
B、EGA
C、FIA
5. Stepper机台设备理论分辨率？
A、0.35μm
B、0.64μm
C、0.18μm
D、0.27μm
6. Blind参数设置哪些？
A、±X
B、±Y
C、center X
D、center Y
7. 建档需要哪些参数？
A、Block尺寸
B、对位mark坐标
C、版图在光罩板上的尺寸及位置
D、曝光量和FOCUS
8. 如果曝光发现图形有偏移，可以从哪些参数进行修正？
A、mapping offset
B、对位mark坐标
C、wafer offset
D、blind
9. 如果曝光发现图形有偏移，可以从哪些参数进行修正？
A、mapping offset
B、mark坐标
C、wafer offset
D、blind
10. 光刻机的数值孔径（NA）为多少？
A、0.75
B、1
C、2
D、0.5
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