半导体Mask制程检测修复岗位知识测试

本次测试用于考察Mask检测修复工序的基础专业知识,请独立完成作答,考试时间为20分钟。
1. 基本信息
姓名:
一、单选题
2. 以下检测检测修复的正确站点顺序为
3. CDC检测主要监控
二、判断题
4. AOI设备的检测光源颜色有红黄蓝3种
5. Macro主要检查Mask外观类异常,包括Mask损伤、焊点情况、脏污
6. CDC设备量测项目包括:PPA/CD/TP
7. 进入OMC Load端的Mask可以再从Load端口排出
8. Mask Repair设备能够对外观破损的Mask进行修复
9. Mask清洗机槽体包含NMP槽,水槽,电解槽,干燥槽
10. AOI检测流程为:进片→对位→扫描→Review拍照→出片
11. 清洗机按蒸镀材料分为有机清洗机和金属清洗机
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