TOPCon电池生产工艺知识考试
本考试涵盖TOPCon电池制绒、硼扩散、碱抛、PE-poly、退火、氧化铝钝化、氮化硅镀膜、丝网印刷、烧结及现场管理等内容。请认真作答,考试题目含分值和答案解析。
1. TOPCon电池的英文全称含义是?
隧穿氧化层钝化接触
金属氧化物半导体接触
非晶硅异质结接触
发射极钝化接触
2. TOPCon电池的基底硅片类型是?
P型硅片
N型硅片
本征硅片
多晶硅片
3. TOPCon背面隧穿氧化层的典型厚度为?
0.1~0.5nm
1~2nm
10~20nm
100nm以上
4. TOPCon电池正面发射极是通过扩散哪种元素形成的?
磷(P)
硼(B)
砷(As)
锑(Sb)
5. 制绒工序中,单晶硅在碱性溶液中发生的腐蚀是?
各向同性腐蚀
各向异性腐蚀
化学机械抛光
电化学腐蚀
6. 制绒形成的金字塔绒面的主要作用是?
增加膜层厚度
降低光反射、增加光吸收
提高导电性
降低杂质浓度
7. 硼扩散工序使用的硼源气体是?
BCl3
PH3
N2O
SiH4
8. 碱抛1(背面刻蚀)工序的主要目的是?
去除正面BSG玻璃层
去除背面BSG玻璃层及绕扩硼层
沉积poly多晶硅
印刷金属电极
9. 碱抛1工序需要保留正面哪一层以保护P型发射极?
poly层
BSG层
Mask掩膜层
氮化硅层
10. PE-poly工序中Mask掩膜层的主要作用是?
提高导电性
碱抛2去除绕镀时保护poly硅
降低光反射
形成PN结
11. PE-poly管式设备的工作温度范围是?
100~200℃
350~600℃
800~1000℃
1200℃以上
12. 隧穿氧化层厚度的管控标准是?
1.7nm±0.15nm
5nm±0.5nm
10nm±1nm
0.5nm±0.05nm
13. 椭偏仪测量隧穿层厚度采用的原理是?
椭圆偏振消光测量法
四探针法
电化学腐蚀法
原子力显微镜法
14. 隧穿氧化层厚度的取样测试方式为?
单点测试
三点测试
五点测试
十点测试
15. 退火工序的主要作用是?
形成金字塔绒面
使非晶硅晶化成多晶硅并激活掺杂
印刷电极
沉积隧穿氧化层
16. 关于退火方阻的规律,下列说法正确的是?
退火时间越长、方阻越高
退火温度越高、方阻越高
退火时间越长、方阻越低
方阻与时间温度无关
17. ALD工序在电池正面沉积的薄膜是?
SiNx
Al2O3
SiO2
poly-Si
18. ALD沉积氧化铝所用的原料TMA指的是?
三甲基铝
三氯化硼
磷烷
硅烷
19. 氧化铝场钝化的原理是?
氢钝化硅表面悬挂键
自带负电荷形成指向硅内部的电场,驱动少子离开界面
提高导电性
降低反射率
20. PECVD正面氮化硅膜层结构为?
单层氮化硅
三层氮化硅 氮氧化硅
双层氧化铝
四层poly
21. 下列不属于PECVD镀膜目的的是?
减反射,降低光反射
硅片表面钝化
阻挡钠离子、金属离子扩散
形成PN结
22. PECVD生成SiNx薄膜通入的主要反应气体是?
SiH4 NH3
BCl3 O2
PH3 N2O
TMA H2O
23. 丝网印刷的四个阶段顺序是?
填充→回转→稳定→离版
回转→填充→离版→稳定
稳定→离版→回转→填充
回转→稳定→填充→离版
24. 四道印刷流程中,第三道印刷(主栅)之后经过烘箱再进行的是?
第一道印刷
第二道印刷
第四道印刷(细栅)
直接烧结
25. 烧结工艺的主要作用是?
形成金字塔绒面
银电极与硅片形成欧姆接触并释放H原子钝化
沉积氧化铝
去除绕镀poly
26. 四探针方阻测试仪中,外侧一对探针的作用是?
测量两点间电压
通入恒定电流
接地保护
测量温度
27. ECV的中文全称是?
电化学微分电容电压
椭圆偏振测试仪
四探针方阻仪
二次离子质谱仪
28. 正、背膜特气的进气位置在炉管的哪个位置
炉口
炉中
炉尾
石墨舟
29. 正、背膜工艺步压力的大小通过哪个控制
蝶阀
真空泵
薄膜硅
进气大小
30. ECV电化学微分电容电压测试属于哪类测试?
无损测试
破坏性测试
在线监测
纯光学测试
31. 5S管理中“整理”的日文罗马音是?
SEITON
SEIRI
SEISO
SHITSUKE
32. IGV小车与机台对接时,距离对接皮带约多少厘米会自动关闭避障检测?
10cm
20cm
40cm
80cm
33. PE-poly工序的工艺气体包括( )
SiH4
N2O
PH3
H2、N2
34. 影响Poly膜厚的因素有( )
沉积时间
射频功率
温度
特气流量(N2O/SiH4比例)
35. PE-poly同管原位沉积的四层膜依次为( )
SiO2隧穿氧化层
轻掺poly
重掺poly
Mask掩膜层
36. PECVD镀膜的三个目的包括( )
减反射,增加太阳光吸收
硅片表面钝化
阻挡钠离子、金属离子、水蒸气扩散
形成PN结
37. 制绒工序的目的包括( )
清洗硅片表面脏污
去除切割机械损伤层
形成金字塔绒面降低反射增加光吸收
沉积隧穿氧化层
38. 氧化铝钝化分为哪两类( )
场钝化
化学钝化
减反射
吸杂
39. 5S管理包含的核心项目有( )
整理
整顿
清扫
清洁
40. 关于IGV小车操作的安全事项,正确的有( )
与机台对接约40cm时自动关闭避障
对接期间严禁人员穿过IGV与机台间隙
手动操作IGV时避障检测关闭
拉料两人作业时一人看护一人操作
41. TOPCon电池属于P型太阳能电池。( )
对
错
42. TOPCon背面核心结构为超薄隧穿氧化层 掺杂多晶硅构成的钝化接触。( )
对
错
43. 制绒工序中,单晶硅在碱性溶液中发生各向同性腐蚀。( )
对
错
44. PE-poly是TOPCon电池最关键的核心工序。( )
对
错
45. 退火温度越高、时间越长,硅片方阻越低。( )
对
错
46. 碱抛2工序的目的是去除正面、边缘多余poly,实现正反面电学隔离,防止电池漏电。( )
对
错
47. ALD原子层沉积的特点是沉积温度高、膜层均匀性差。( )
对
错
48. ECV电化学微分电容电压测试属于破坏性测试,理论上测量深度无限。( )
对
错
49. 正背膜辅热管分部是上部三根下部二根
对
错
50. 四探针方阻测试仪中,内侧一对探针用来通入电流。( )
对
错
51. 5S管理中“整顿”的日文罗马音是SEITON。( )
对
错
52. IGV与机台对接时,距离对接皮带约40cm处自动关闭避障检测功能。( )
对
错
53. 安全警示标志中,黄色三角形边框属于“禁止标志”。( )
对
错
54. Poly重掺增加磷烷流量(1080→1180sccm)两轮验证电性能填充有明显增益,验证通过。( )
对
错
55. ALD 36圈验证中,三轮36圈样品开路电压均高于42圈基准。( )
对
错
56. 烧结工艺中,高温释放镀膜中的H原子扩散进电池内部,对硅片起钝化作用。( )
对
错
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